Bežné metódy detekcie úniku podtlaku

Detekcia úniku héliovou hmotnostnou spektrometriou

Táto technológia je nepostrádateľnou technológiou v oblasti detekcie netesností vo vákuu. Je široko používaný pri detekcii netesností, pretože má vysokú účinnosť detekcie netesností, jednoduchú obsluhu, citlivú odozvu prístroja, vysokú presnosť a nie Čína dodávatelia PVD náterových systémov ľahko zasahovať do iných plynov. Detektor netesností héliového hmotnostného spektrometra je druh prístroja na detekciu plynotesnosti založený na princípe hmotnostnej spektrometrie, ktorý využíva hélium ako indikátor úniku plynu. Skladá sa zo zdroja iónov, analyzátora, kolektora, ionizačného meradla so studenou katódou, komory hmotnostnej spektrometrie, výfukového systému a elektrickej časti. Elektróny emitované z vlákna v komore hmotnostnej spektrometrie oscilujú tam a späť v miestnosti a zrážajú sa s vnútorným plynom a héliom vstupujúcim do miestnosti cez netesný otvor, aby sa ionizovali na kladné ióny. Tieto héliové ióny vstupujú do magnetického poľa pod ľavým a pravým mozgom zrýchleného elektrického poľa a vychyľujú sa v dôsledku pôsobenia Lorentzovej sily, čím vytvárajú kruhovú oblúkovú dráhu a menia zrýchlené elektrické pole. Tlak umožňuje detekciu iónov rôznej hmotnosti tým, že sa dostanú k prijímaciemu pólu cez magnetické polia a prijímacie štrbiny. Metóda vstrekovania hélia a metóda absorpcie hélia sú dve najčastejšie používané metódy pri detekcii netesností héliového hmotnostného spektrometra.