Spoločná vákuová terminológia 3

1. rozsahy vákua: Oblasť vákua je rozdelená zhruba takto:

Pa        Torr

Nízke vákuum:             10 ⁵ ～10 ² 760～1
Stredné vákuum:           10 ² ～10 ^-1 1-10 ^-3

Vysoké vákuum:            10 ^-1 ～10 ^-5 10 ^-3 ～10 ^-7

Ultra vysoké vákuum:       <10 ^-5 <10 ^-7

2. plyn: Látky, ktoré môžu voľne zaberať akýkoľvek priestor a nepodliehajú medzimolekulovým interakciám. Poznámka: Vo vákuovej technike sa termín „plyn“ striktne nevzťahuje na nekondenzovateľné plyny a paru.
3. n，m-3 počet hustota molekúl：V danom okamihu, Čína Dodávatelia PVD pokovovania počet molekúl v objeme okolo bodu v plyne sa vydelí týmto objemom.
4. ι、λ，m stredná voľná dráha: Vzdialenosť, ktorú molekula prejde s inými molekulami plynu každé dve po sebe idúce zrážky, sa nazýva voľná dráha. Priemer veľkého počtu rôznych voľných ciest sa nazýva priemerná voľná cesta.