Spoločná terminológia vákua5

1.difúzia plynu：Plyn sa pohybuje v inom médiu v dôsledku koncentračného gradientu. Médiom môže byť iný plyn (difúzia sa v tomto prípade nazýva interdifúzia) alebo kondenzovateľná látka.
2.D difúzny koeficient; difuzivita: Získa sa pomer absolútneho hmotnostného prietoku na jednotku plochy k normálnemu koncentračnému gradientu na jednotku plochy. Čína Dodávatelia PVD pokovovania
3. viskózny tok：Priemerná voľná dráha molekuly plynu je oveľa menšia ako minimálna veľkosť prierezu potrubia. Preto prietok závisí od viskozity plynu, ktorá môže byť laminárna alebo stagnujúca.
4.η viskózny faktor: Pomer tangenciálnej sily k gradientu rýchlosti na jednotku plochy v smere gradientu rýchlosti prúdenia vzduchu.
5.sorpcia：Zachytávanie plynu alebo pár (adsorbát) pevnou látkou alebo kvapalinou (adsorbent).