Spoločná terminológia vákua9

1.elektromagneticky ovládaný ventil：Ventil, ktorý je poháňaný elektromagnetickou silou.
2. usmerňovací ventil: Ventilová doska posúva otvárací a zatvárací ventil pozdĺž osi sedadla.
3. klapka: Disk prevráti uhol otvárania a zatvárania ventilu. Výrobcovia odparovacích vákuových nanášacích strojov
4. posúvač: Doska ventilu sa radiálne pohybuje pozdĺž sedla, čím otvára a zatvára ventil.
5. motýľový ventil: Ventilová doska otáča otvárací a zatvárací ventil okolo pevného hriadeľa v otvore ventilu.
6. Čerpadlo predného stupňa: Vákuové čerpadlo používané na udržanie tlaku v prednom stupni vákuového čerpadla pod jeho kritickým tlakom v prednom stupni. Napríklad čerpadlo s rotačnými lopatkami alebo posuvným ventilom pred Rootsovým čerpadlom je predné čerpadlo.
7. Hrubé čerpadlo: Vákuové čerpadlo, ktoré začne čerpať pri atmosférickom tlaku a prečerpáva systémový tlak do iného vákuového čerpadla, aby začalo pracovať. Napríklad čerpadlo s posuvným ventilom vo vákuovom lakovacom stroji je čerpadlo na ropu.