Ako vyriešiť nerovnomernosť magnetrónových naprašovaných filmov?

Po prvé, rovnomernosť a smer magnetického poľa by sa mali zabezpečiť, aby sa vytvorilo relatívne rovnomerné priestorové magnetické pole.

Po druhé, mala by sa čo najviac zabezpečiť rovnomernosť tlaku vzduchu. Pri navrhovaní vákuovej komory, inštalačnej polohy vákuového čerpadla, spôsobu Továreň na odparovacie vákuové lakovacie stroje je potrebné zvážiť prívod procesného plynu a usporiadanie procesného potrubia v komore.

Po tretie, pretože magnetické pole a tlak vzduchu nemôžu byť úplne ideálne, magnetické pole môže byť kompenzované nerovnomernosťou tlaku vzduchu, aby bol výsledný film rovnomerný.

Po štvrté, základná vzdialenosť cieľa je tiež dôležitým faktorom ovplyvňujúcim uniformitu.