Čo je reaktívne naprašovanie?

Naprašovanie je bežnou technikou pre fyzikálne nanášanie pár (PVD) Čína vákuový poťahovací stroj na tvrdý film , jeden zo spôsobov výroby tenkých vrstiev. Štandardné naprašovanie používa terč z akéhokoľvek čistého materiálu, ktorý je požadovaný, a inertný plyn, zvyčajne argón.

Ak je materiálom jeden čistý chemický prvok, atómy jednoducho vypadnú z cieľa v tejto forme a uložia sa v tejto forme.

Je však tiež možné použiť neinertný plyn, ako je kyslík alebo dusík, buď namiesto inertného plynu (argón) alebo (častejšie) navyše k inertnému plynu (argónu). Keď sa to stane, ionizovaný neinertný plyn môže chemicky reagovať s oblakom pár cieľového materiálu a produkovať molekulárnu zlúčeninu, ktorá sa potom stane naneseným filmom. Napríklad kremíkový terč reaktívne naprášený plynným kyslíkom môže vytvoriť film oxidu kremíka alebo plynný dusík môže vytvoriť film nitridu kremíka.