Ako ovplyvňuje prevádzkový tlak v provokačnom stroji magnetronu kvalitu a rovnomernosť povlaku aplikovaného na substráty?
Prevádzkový tlak hrá priamu úlohu pri regulácii rýchlosti depozície naprašeného materiálu na substrát. Pri nízkych tlakoch sa priemerná voľná cesta - vzdialenosť prepraný atóm prechádza pred zrážko...