Čo je to stroj na rozprašovanie magnetrónu a ako to funguje?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Čo je to stroj na rozprašovanie magnetrónu a ako to funguje?

Vákuový stroj na rozprašovanie magnetrónu je najmodernejšia technológia používaná na ukladanie tenkom filmov na širokom spektre substrátov. Ale čo presne je to a ako to funguje?

Vo svojom jadre Magnetrónový rozprašujúci vákuový náterový stroj je komora s vysokým časom, ktorá obsahuje cieľový materiál, zvyčajne kov alebo zliatinu a substrát, ktorý sa má poťahovať. Tento proces zahŕňa bombardovanie cieľového materiálu vysoko energetickými iónmi, ktoré uvoľňujú atómy z jeho povrchu a ukladajú ich na substrát, čím tvoria tenký film.

Jednou z kľúčových komponentov vakuového poťahovacieho stroja Magnetronovcov je magnetrón, ktorý je typom zdroja plazmy, ktorý v komore generuje vysoko ionizovanú plazmu. Magnetrón pozostáva z katódy (cieľový materiál), anódy a magnetického poľa. Magnetické pole slúži na obmedzenie plazmy a zvýšenie ionizácie molekúl plynu v komore na efektívnejšie rozprašovanie.

Proces začína čerpaním komory na vysoké vákuum, zvyčajne okolo 10^-6 torr. Cieľový materiál je potom bombardovaný iónmi, ktoré vyradia atómy a vytvárajú tok častíc, ktoré sú uložené na substráte. Rýchlosť depozície a vlastnosti filmu sa môžu riadiť nastavením toku iónov, cieľového napätia a tlaku v komore.

Jednou z výhod naprašujúceho vákuového poťahovacieho stroja magnetrónu je jeho univerzálnosť. Môže sa použiť na ukladanie širokej škály materiálov vrátane kovov, zliatin, keramiky a polovodičov. Môže sa tiež použiť na vytváranie viacvrstvových povlakov, ktoré môžu mať jedinečné vlastnosti, ako je vylepšená tvrdosť, odolnosť proti opotrebeniu alebo optické vlastnosti.

Ďalšou výhodou naprašujúceho vákuového poťahovacieho stroja magnetrónu je vysoká úroveň uniformity. Magnetické pole v komore slúži na rovnomerné rozdelenie iónového toku po povrchu cieľa na rovnomernejšiu rýchlosť depozície a hrúbku filmu.

Záverom možno povedať, že vákuový vodný stroj Magnetron Stricing je vysoko sofistikovanou technológiou, ktorá sa široko používa v odvetviach, ako je letecký priestor, elektronika a optika. Vďaka svojej schopnosti ukladať širokú škálu materiálov, vytváranie viacvrstvových povlakov a produkovať vysoko jednotné filmy z neho robí nevyhnutný nástroj pre výskum a vývoj, ako aj rozsiahlu výrobu.

DC magnetrónový rozprašovací depozičný systém

Viacúčelové iónové a rozprašovacie povlaky je možné ukladať v širokej škále farieb. Zazvonenie farieb sa môže ďalej vylepšiť zavedením reaktívnych plynov do komory počas procesu depozície. Všeobecne používané reaktívne plyny na dekoratívne povlaky sú dusík, kyslík, argón alebo acetylén. Dekoratívne povlaky sa vyrábajú v určitom farebnom rozsahu v závislosti od pomeru kovu k plynu v povlaku a štruktúre povlaku. Oba tieto faktory sa môžu zmeniť zmenou parametrov depozície.

Pred uložením sa časti čistia, takže povrch je bez prachu alebo chemických nečistôt. Po spustení procesu náteru sa všetky príslušné parametre procesu nepretržite monitorujú a riadia automatickým systémom riadenia počítača.

• Materiál substrátu: sklo, kov (uhlíková oceľ, nehrdzavejúca oceľ, mosadz), keramika, plast, šperky.

• Typ štruktúry: vertikálna štruktúra, nerezová oceľ #304.

• Potiahnutie filmu: Multifunkčný kovový film, kompozitný film, priehľadný vodivý film, film zvyšujúci odrazivosť, elektromagnetický tieniaci film, dekoratívny film.

• Filma filmu: viacstranné farby, čierna pištoľ, titánska zlatá farba, ružová zlatá farba, farba z nehrdzavejúcej ocele, fialová farba, tmavočná, tmavomodrá a ďalšie viac farieb.

• Typ filmu: Tin, CRN, ZRN, TICN, TICRN, TINC, TIALN a DLC.

• Spotrebiteľstvo vo výrobe: titán, chróm, zirkón, železo, zliatinový cieľ; Target roviny, valcový cieľ, dvojitý cieľ, opačný cieľ.

Aplikácia:

• Glassware, ako napríklad sklenený pohár, sklenené žiarovky, sklenené umelecké diela.

• Plastové plášť telefónu, diely telefónu.

• Mozaická dlaždica.

• Elektrónový priemysel, napríklad film EMI.

• Hodinky, ako napríklad Case Case a Belt.

• Stolové výrobky, napríklad kovové vidličky a nože.

• Golfové výrobky, ako Golf Head, Golf Pole a Golf Balls.

• Sanitárne výrobky/kúpeľňové výrobky.

• Kánanie a zámky dverí.