Bežné metódy detekcie úniku vákua

Detekcia úniku pomocou hmotnostnej spektrometrie hélia

Táto technológia je nevyhnutnou technológiou v oblasti detekcie úniku vákua. Všeobecne sa používa pri detekcii úniku z dôvodu vysokej účinnosti detekcie úniku, ľahkej prevádzky, citlivej odozvy prístroja, vysokej presnosti a nie Čína dodávatelia poťahovacích systémov PVD Ľahko zasahované do iných plynov. Detektor únikového spektrometra hélia je akýmsi prístrojom na detekciu plynu založeného na princípe hmotnostnej spektrometrie, ktorý používa hélium ako plynný indikátor úniku. Skladá sa z iónového zdroja, analyzátora, kolektora, ionizačného rozchodu studenej katódovej, komory hmotnostnej spektrometrie, výfukového systému a elektrickej časti. Elektróny emitované z vlákna v komore hmotnostnej spektrometrie oscilujú tam a späť v miestnosti a zrážajú sa s vnútorným plynom a héliom vstupujúcim do miestnosti cez netesný otvor na ionizáciu do pozitívnych iónov. Tieto héliové ióny vstupujú do magnetického poľa pod ľavým a pravým mozgom zrýchleného elektrického poľa a odchyľujú sa v dôsledku pôsobenia Lorentzovej sily, tvoria obežnú dráhu kruhového oblúka a menia zrýchlené elektrické pole. Tlak umožňuje detegovať ióny rôznej hmoty dosiahnutím prijímacieho pólu cez magnetické polia a prijímacie sloty. Metóda vstrekovania hélia a metóda absorpcie hélia sú dve bežne používané metódy pri detekcii úniku hmotnostného spektrometra hélia.