Aký je pracovný princíp katódového oblúkového iónového pokovovania?

Predovšetkým je ihla zarážajúca oblúk (anóda) s kladným potenciálom blízko cieľa (katódy) so záporným potenciálom. Keď je vzdialenosť medzi anódou a katódou dostatočne malá, plyn medzi dvoma elektródami sa rozloží a vytvorí oblúkový prúd, ktorý je podobný zapáleniu oblúka pri elektrickom zváraní. V tomto čase sa časť N2 ionizuje za vzniku dusíkových katiónov a elektrónov.

Priťahovaný silou elektrického poľa poletí katión dusíka na katódu blízko cieľa a elektrón poletí k ihle zapaľovania oblúka. Hmotnosť iónu je však oveľa väčšia ako hmotnosť elektrónu. Preto pri rovnakej sile elektrického poľa bude vzdialenosť pohybu elektrónu väčšia ako vzdialenosť katiónu. Preto, keď elektrón dosiahne anódu, ión nedosiahne katódový terč, ale poletí k ihle zapaľovania oblúka. Vrstva akumulácie kladných iónov sa vytvorí blízko povrchu terča.

Vzdialenosť medzi katiónom a cieľovým povrchom katódy je veľmi malá, až do úrovne mikrónov. Podľa e = u / D je vidieť, že elektrické pole v priestore je v tomto čase extrémne vysoké, čo „vytiahne“ elektróny z cieľa. "Vytiahnuté" elektróny lietajú z katódového terča do vrstvy akumulácie kladných iónov a vytvárajú prúd. Stohovacia vrstva je spojená s cieľovým povrchom a v blízkosti cieľového povrchu sa vytvorí oblúk.

Súčasne budú kladné ióny priťahované povrchom katódy, čo spôsobí, že kladné ióny bombardujú povrch terča a spôsobujú rozprašovanie. Keďže častice filmu, buď odparené alebo rozprášené, musia prejsť cez vrstvu akumulácie kladných iónov a v procese vyletovania z povrchu katódy budú častice filmu ovplyvnené oblúkom na povrchu cieľa, takže väčšina častíc prichádzajúce k obrobku sú v iónovom stave.

Záporné predpätie sa zvyčajne aplikuje na obrobok, takže kladné ióny lietajú na obrobok pôsobením sily elektrického poľa a bombardujú obrobok Výrobcovia poťahovacích strojov DLC . Toto bombardovanie zlepší priľnavosť filmu a zhustí trenie, čo je veľmi prospešné pre zlepšenie kvality filmu.

Ak sa chcete dozvedieť viac, môžete nás tiež kontaktovať.

NINGBO DANKO VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.

Sara

Telefón: 86-15867869979

E-mail: [email protected]

Wechat: 15867869979

WhatsApp:  86-15867869979