Aký je pracovný princíp katódového oblúka?

Po prvé, oblúková štrajkujúca ihla (anóda) s pozitívnym potenciálom je blízko k cieľu (katóda) s negatívnym potenciálom. Ak je vzdialenosť medzi anódou a katódou dostatočne malá, plyn medzi dvoma elektródami sa rozdelí, čím sa vytvorí oblúkový prúd, ktorý je podobný oblúkovému úderu elektrického zvárania. V tejto dobe je časť N2 ionizovaná za vzniku katiónov a elektrónov dusíka.

Dusičný katión, ktorý priťahuje elektrická poľná sila, bude lietať do katódy blízko cieľa a elektrón bude lietať do oblúkovej zapaľovacej ihly. Hmotnosť iónu je však oveľa väčšia ako hmotnosť elektrónu. Preto bude pod rovnakou elektrickou poľnou silou vzdialenosť pohybu elektrónu väčšia ako vzdialenosť katiónu. Preto, keď elektrón dosiahne anódu, ión nedosiahne katódový cieľ, ale bude lietať do oblúkovej zapaľovacej ihly, akumulačná vrstva pozitívnej iónov sa vytvorí v blízkosti cieľového povrchu.

Vzdialenosť medzi katiónom a cieľovým povrchom katódy je veľmi malá až po hladinu mikrónu. Podľa e = u / d je zrejmé, že elektrické pole v priestore je v tomto okamihu vysoké, ktoré „vytiahne“ elektróny z cieľa. „Vytiahnuté“ elektróny lietajú z cieľa katódy do vrstvy akumulácie kladných iónov, čím tvoria prúd. Vrstva stohovania je spojená s cieľovým povrchom a oblúk sa generuje v blízkosti cieľového povrchu.

Zároveň budú pozitívne ióny priťahované cieľovým povrchom katódy, vďaka čomu je pozitívny ión bombardovaný cieľovým povrchom a produkuje rozprašovanie. Keď sa častice filmu buď odparili alebo naprašené, musia prejsť pozitívnou vrstvou akumulácie iónov a v procese lietania z cieľového povrchu katódy budú častice filmu ovplyvnené oblúkom na cieľovom povrchu, takže častice prichádzajúcich do obrobku sú iónový stav.

Negatívne predpätie sa zvyčajne aplikuje na obrobok, takže pozitívne ióny lietajú do obrobku pod činnosťou elektrickej poľnej sily a bombardujte obrobok Výrobcovia poťahovania DLC . Toto bombardovanie zlepší adhéziu filmu a urobí hustotu trenia, čo je veľmi prospešné na zlepšenie kvality filmu.

Ak sa chcete dozvedieť viac, môžete nás tiež kontaktovať.

Ningbo Danko vákuová technológia Co., Ltd.

Sála

Telefón: 86-15867869979

E -mail: [email protected]

WeChat: 15867869979

WhatsApp: 86-15867869979